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　　证券时报记者 李曼宁

　　因波及“光刻机”误导性述说，苏大维格（维权）正在被追责。10月12日晚间，苏大维格（300331）表示深交所热心函，公司在互动易平台对关连“光刻机”相干回复受到媒体和投资者平庸质疑，并引起股价大幅波动，涉嫌存在不真确、不准确、不齐全情形及误导性述说，商场影响恶劣，生意所将对苏大维格及相干违纪当事东谈主启动纪律刑事背负要领。

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　　此“光刻”非彼“光刻”的误导性述说始于上市公司在互动易平台的系列表述。“公司光刻机以竣事向国内龙头芯片企业的销售，并已竣事向日本、韩国、以色列等国度出口”、“公司已热心到纳米压印光刻在集成电路和芯片制造界限具备替代传统光刻的运用后劲，并在积极布局”，苏大维格9月14日午间的上述暗示，径直引燃商场情怀。

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　　当日午间开盘后，苏大维格股价即获大幅拉升，并斩获20%涨停收于33.12元/股，本日成交额达到15.55亿元。

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　　9月15日一早，深交所便向苏大维格下发烧心函，条款公司补充表示所出产光刻斥地的具体类型、主要客户及卑劣用途等问题，并进一步领导相干风险。

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　　本日晚间，苏大维格表示了线上半年报事迹说明会纪要，其中对光刻斥地问题有所回复。公告称，公司高端智能装备包括直写光刻、3D光刻、投影/扫描光刻、纳米压印光刻斥地等，部分直写光刻斥地已向国表里高校及科研院所、国内企业等销售。现阶段，公司光刻斥地销售限制相对有限，部分运用界限离国外先进水平具有一定差距，需要捏续的研发插足。

　　更多的业务细节则在问询函回复中才揭开。10月8日晚间，苏大维格详备回复了相干问题。

　　据先容，光刻技艺是当代半导体、表出面板、光电子等界限的产物制造过程中不行或缺的工艺经由之一。从曝光样子上，光刻机不错分为掩模光刻机（在运行过程中均需要使用掩模板），包括来回式/接近式光刻机，投影式光刻机等；以及无掩模光刻机，即直写光刻机，包括电子束光刻机、激光直写光刻机、激光径直成像斥地等。半导体及平板线路制造多数聘请“直写光刻制作掩模+投影光刻批量复制”的工艺过程。

　　苏大维格坦言，一般所称的光刻机是有掩模光刻机中的投影式光刻机，与公司所出产的激光直写光刻机不属于吞并技艺路子。公司自2001年傍边运行研发各样光刻斥地，包括激光直写光刻机、纳米压印斥地等，前述斥田主要用于微纳光学产物和衍射光学器件的制造，公司所出产的光刻斥地目下不波及集成电路界限相干产物的出产。

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　　此外，苏大维格开发出产的激光直写光刻斥地目下主如若私用，公司对外售售的金额较小，2022年竣事对外售售收入约770.93万元，2023年上半年对外售售收入约2177.27万元。

　　就公司光刻斥地是否未必径直用于芯片研发及制造，苏大维格暗示，公司光刻斥地目下不波及集成电路界限相干产物的出产，这部分商场被行业龙头公司主导和把持。公司光刻斥田主要为私用于各样微纳光学产物和衍射光学器件的制造，对外售售金额较小，外部客户采购主要用于相干界限的研发、试制和微纳光学材料等出产。公司激光直写光刻斥地在最小线宽、线宽均匀度、网格精度、褂讪性等关键技艺参数与同业业龙头公司比较存在较大差距。

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　　在监管问询下，苏大维格在回复函中还进行了致歉。公司证券部门在回复相干互动易问题时，径直使用了“光刻机”、“龙头芯片公司”等可能引起歪曲的表述，未能充分研讨到部分投资者可能对光刻机的技艺路子、相干技艺的具体运用界限等情况不了解，未详备说明公司光刻斥地的具体类型，公司主要的运用界限，与行业龙头企业的差距，以及客户主要用途等信息；也未说明相干斥地收入占公司收入比重较低，未充分领导相干风险。对此，公司及证券部门淳厚向投资者暗示歉意，并将积极吸取资格资格，进一步完善相干轨制和要领等。

　　此番问询函回复表示之际，苏大维格还公布收到证监会的立案奉告。因苏大维格涉嫌信息表示犯罪违纪，中国证监会决定对苏大维格立案走访。

　　苏大维格暗示，立案走访时候，公司将积极合作中国证监会的走访使命，并严格按照监管要务践诺信息表示义务。目下，公司各项出产辩论行径开阔开展。

　　二级商场上，苏大维格近期股价触动下落，现价24.82元/股，已跌回前述“光刻机”见地狂欢前水平。

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